Charakteristiky kontrolního systému 8 palců Olympus

● Široká škála přizpůsobení, flexibilní kombinace, 8palcový systém kontroly oblouček Olympus je vysoce praktický a vysoce spolehlivý.

● 8 palcový systém kontroly oblek Olympus přenáší silikon různých velikostí

Na základě velikosti křemíkových ploch jsou systémy kontroly oblek řady AL120 k dispozici ve třech základních modelech: kompatibilní s jednou velikostí 200 mm (AL120-L8), 150 mm a 200 mm (AL120-L86) a jednou velikostí 150 mm nebo méně (AL120-L6). Každý z nich je navržen tak, aby přenášel křemíkové plochy, které již byly zkoumány mikroskopicky. Přední makroskopie a zadní makroskopie jsou použitelné s různými velikostmi křemíkových plátků.

● 8 palcový systém kontroly oblouček Olympus může přenášet ultratenké křemíkové plátky, tj. tenké do 90um

Pro řešení náročnějších ultratenkých křemíkových plátek byl systém kontroly oblek Olympus speciálně navržen pro přenosové rameno, které dokáže řešit krabice 200 mm s 25 kusy a křemíkové plátky tenké až 90 um a dokončit bezpečnostní přenos a mikroskopické kontroly. Přes panel lze přednastavit až 10 informací o různých tloušťkách křemíku.

● Přesná schopnost zlepšit funkce makro kontroly

Nový stroj s funkcí makroentroly (typ LMB) se automaticky otáčí o 360 stupňů a provádí makroentrolu každé strany křemíkových plátků. Tento design umožňuje snadné odhalení defektů a částic na přímé a opačné straně křemíku. Kromě toho lze makroskopickou kontrolu provést nakloněním křemíkové plochy o 30 stupňů pomocí pásu.

LCD displej poskytuje přesnost a snadnou obsluhu

LCD displej poskytuje operátorovi intuitivnější vizuální pocit, takže je jasné, zda kontrolní systémy Olympus kontrolují položky a pořadí a zda jsou nastaveny parametry potřebné pro instalaci a uvedení do provozu. Výsledky kontroly, včetně makro- a mikroznaček chyb zadaných operátorem, mohou být zobrazeny na LCD displeji, což usnadňuje přehled operátora.

• Přesná spolehlivost

Pro bezpečnost křemíkových plátek využívá systém kontroly plátek řady AL120 dvě nové metody detekce křemíkových plátek: tloušťku křemíkových plátek a polohu v krabici. Před přenosem skenujte umístění křemíku v krabici. Volitelná funkce automatického zamykaní nosiče zvyšuje bezpečnost přenosu křemíkových plátek do vakuového nosiče.

Výkonný a spolehlivý mikroskop

Polvodičový kontrolní mikroskop Olympus MX61 dokáže zobrazit obraz s vysokým rozlišením a vysokým rozlišením pomocí různých pozorovacích metod: světlé pole, temné pole, diferenciální interference, infračervené a hluboké ultrafialové. Vybaveno otáčkovým kotoučem elektroobjektivu, s funkcí spojení s otvorem mikroskopu, při každém přepínání objektivu se také automaticky změní otvor.

Kompatibilní s normami SEMI S2/S8 a RoHS

Systémy kontroly oblek řady AL120 jsou navrženy nejen s důrazem na bezpečnost křemíkových ploch při přenosu, ale také zajišťují bezpečnost operátora, plně v souladu s normami SEMI S2 a S8 a zároveň splňují normy Rohs.

Technické specifikace 8palcového systému kontroly obleček Olympus