Přehled

Podobně jako standardní STACIS Quiet Island, tato kompaktní verze poskytuje vynikající sub-Hertz aktivní potlačení vibrací podlahy pro velké nástroje, které obvykle váží více než 1134 kg.

Zatímco standardní Quiet Island vyžaduje zvýšenou podlahu nebo jámu s hloubkou nejméně 380 mm, Compact Quiet Island využívá izolátory s nízkým profilem STACIS IIIc a zakázkové kapsové plošiny, které odpovídají výšce zvýšené podlahy až do 200 mm.

Následující obrázky ilustrují srovnání výšek mezi standardní a Compact Quiet Island výškami.

Na objednávku

Vzhledem k složitosti, citlivosti a hodnotě zařízení nainstalovaného na našich platformách Quiet Island® neudržujeme standardní katalogové čísla pro objednávky. Každou instalaci považujeme za řešení na zakázku. Doporučený postup pro objednávku je následující:

Řekněte nám, jaké zařízení nebo nástroj chcete izolovat. Vzhledem k naší nainstalované základně je pravděpodobné, že jsme již navrhli návrh platformy podle požadavků vaší aplikace. Kromě toho udržujeme úzký kontakt s výrobci kroků, vyrovnávačů, SEM a dalších výrobců nástrojů, abychom udrželi aktuální velikost, tvar, změny hmotnosti a specifikace vibrací podlahy.

Poskytněte nám údaje o vibracích podlahy nebo s námi diskutujte, jak zařídit, aby tato data byla měřena.