Indukční spojovací plazmatické hmotnostní spektroskopie (ICP-MS) je nová technologie analýzy anorganických prvků a izotopů, která rychle detekuje téměř všechny prvky v periodické tabulce současně. Technologie ICP-MS překonává v analytických schopnostech tradiční anorganické analytické technologie, jako je indukční spojovaná plazmatická spektroskopie (ICPAES), absorpce atomů v grafové peci (GFAAS) a technologie absorpce atomů studené rtuti (CVAAS) dohromady, a je známa jako nejvzrušující vývoj současné analytické technologie.

Aplikace technologie Agilent ICP-MS zahrnují:
Analýza vzorků životního prostředí, včetně vodovodu, povrchové vody, podzemní vody, mořské vody a různých půd, odpadů atd.;
• Analýza polovodičových materiálů
Analýza vzorků skla, keramiky a kování;
• geologický výzkum;
• Biopotravinářský a lékařský klinický výzkum;
• Analýza jaderných materiálů
Analýza vzorků petrochemického průmyslu;
• forenzní aplikace a výzkum;
V nedávné době se prvková hodnota a morfologická analýza v oblasti environmentální toxicity, věd o životě a dalších oblastech stala zaměřením aplikace technologie ICP-MS.
Analytické vlastnosti ICP-MS:
Rychlá detekce téměř všech prvků periodické tabulky současně
Minimální limit detekce (až do úrovně ppq)
Optimální poměr efektivity/nákladů
Nejširší lineární dynamický rozsah – přímá detekce koncentrací od ppq do stovek ppm
• Nejjednodušší spektrální linie, minimální rušení, dobrá přesnost a přesnost
Vyžaduje velmi nízký objem vzorku (ul až ml) a rychlou analýzu (1 až 3 minuty / vzorek)
Flexibilní a různorodé modely detekce
Analýza ultrastopových znečišťujících látek v běžně používaných materiálech v průmyslu polovodičů:
Pevné látky: Si; GaAa monokrystalické řezy; Materiály pece jako křemen, karbid křemíku; Vysoce čisté kovové elektrody atd.
kapalina: ultračistá voda; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amoniak atd.
plyn: SiH4; TE0S; NF3; N2 atd.
Agilent ICP-MS umožňuje přímou analýzu organických vzorků:
Technologie Agilent ICP-MS s vysokou účinností a vysokým výkonem je použita pro určení stopových znečišťujících prvků na úrovni ppt v řadě organických vzorků.
● U některých z těchto vzorků, jiné metody nemohou získat uspokojivé výsledky, vysoký výkon štít čtyřchladné plazmatické technologie je jedinou metodou analýzy.
Silné alkalické čisticí prostředky - tetramethylhydroxid amoniakový (TMAH) atd.
● Běžně používaná organická rozpouštědla - benzen, butafen, IPA atd.
● Vzorky s vysokým obsahem - litografické lepidlo, kapalné krystaly, BPSG, PSG a další extrémně prchavé čisticí prostředky - aceton, metanol atd.