Heliový chromatometr pro analýzu tetrafluorových uhlíků
Helium-iontový chromatometr je vhodný pro detekci stopových nečistot v elektronických průmyslových plynech s malými detekčními koncentracemi až 5 ppb.
Detaily produktu
- Popis produktu
Heliový chromatometr pro analýzu tetrafluorových uhlíkůVybavený vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání společnosti HUARE, vzorkové ventily jsou vybaveny ochrannými vzduchovými cestami; Celý stroj je navržen s více sloupy a je vybaven automatickým korekčním systémem vstupního tlaku, který zajišťuje vstupní objem vzorků různých podkladových plynů. Výrobky byly oceněny projektem třídy A pro přeměnu vysoce technologických úspěchů v Šanghaji.
Projekty | indikátory | ||
Tetrafluorový uhlík (CF)4Čistota (objemové části) / 10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
dusík (N)2Obsah (objemové části) / 10-6< | 4 | 20 | 40 |
Kyslík + argon (O)2+ Ar) obsah (objemové částice) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
Oxid uhličitý (CO)2Obsah (objemové části) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
Obsah oxidu uhličitého (CO) / 10-6< | 0.1 | 0.5 | 1 |
Hexafluorid sírný (SF)6Obsah (objemové části) / 10-6< | 1 | 1 | 5 |
Vlhkost (H)2O) Obsah (objemové části) / obsah, 10-6< | 3 | 5 | 10 |
Kyslost (jako HF) Obsah (objemové části) / 10-6< | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
Ostatní halogenové uhlíkyaObsah (objemové části) / 10-6< | 1 | 10 | 30 |
Celkový obsah nečistot (objemové části) / l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
částice | Obě strany dohodly poptávku a nabídku | Obě strany dohodly poptávku a nabídku | Obě strany dohodly poptávku a nabídku |
Dalšími halogenovými uhlíky jsou: hexafluoretanu, octafloropropanu atd.
|
Online dotaz