Požadavky na měření
Skenování trojrozměrného tvaru povrchu sondy panelu a extrakce profilu pro měření opotřebení horní části sondy

Přehled hlavních funkcí
Bezkontaktní měření, integrovaný design

3D skenování, multifunkční zpracování dat
3. vhodné pro přesné měření různých materiálů

4. Jednoduché použití a snadné demontáž

Rychlé skenování a vysoká přesnost polohy

± 0,5 až ± 1 μm opakovaná přesnost

Vysoká stabilita, silná odolnost proti rušením

Výsledky měření
Výška sondy před opotřebením přibližně 100 μm, po opotřebení přibližně 80 μm

Řešení problémů s měřicími zařízeními v současné fázi

Existují požadavky na měřicí materiál
Kontaktní měření, poškození měřicího materiálu
Malý rozsah měření, nejistá poloha, obtížné měření
Pomalá rychlost měření, nízká přesnost, velká chyba měření

Složitá struktura, vysoké náklady