Ultra-mikro tlakový senzor CYG502 s nominálním vnějším průměrem 2 mm byl navržen speciálně pro použití v experimentech s hydromechanickou technikou, které vyžadují menší montážní rozměry. Jedná se o nejmenší snímač tlaku v současné době.

Komponenty citlivé na tlak CYG502 jsou navrženy a vyrobeny pomocí pokročilé technologie MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Třírozměrně integrované, oboustranně obráběné křemíkové komponenty citlivé na tlak mají vynikající lineární přesnost. Vysoká konzistence mostu Whiston napětí vyrobeného s iontovým vstřikováním a jemnou fotografií umožňuje malý teplotní odchylek. Použití technologie přímého vázání křemíku a křemíku, návrh V-slotu, čímž se dosahuje optimalizace velikosti čipové filmy, která může být využita, snížení celé velikosti čipu na velikost 1 x 1 mm, zatímco výstupní citlivost může dosáhnout rozsahu 100 kpa, což je klíčový průlom pro realizaci ultra-mikro senzorů.

Změna vazby křemíku a skla v tradičním designu na vazbu křemíku a křemíku zlepšila efekt teplotní shody a snížila nulovou nestabilitu způsobenou napětím.

V současné době jsou dostupné odrůdy absolutního tlaku měření modelu výrobků, typ povrchového tlaku je ve vývoji.

CYG502A absolutní ultramikro tlakový senzor je ve tvaru sondy, standardní vnější průměr Ф2,15 mm, délka 18 mm, volitelný rozsah senzoru je 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500, 4000kpa absolutní tlak.

Senzor izolačního tlaku CYG502A je předně tlakovaný citlivými prvky. Proto je vhodný pouze pro sušené plyny, které jsou nekorozivní a neprovodivé. Má poměrně širokou pracovní teplotní zónu, až -55 ° C až + 120 ° C, má také velmi vynikající vysokofrekvenční dynamické vlastnosti, jeho nejnižší rozsah citlivých prvků vlastní frekvence > 200 kHz, čas stoupání je sub-mikrosekundy.

1. parametry ukazatelů výkonu

Výstup plného rozsahu: minimální hodnota 30mv typická hodnota 80mv maximální hodnota 130mv

Vstupní a výstupní impedance: minimální hodnota 3 kΩ typická hodnota 5 kΩ maximální hodnota 7 kΩ

Vstupní pracovní proud: 1,5 mA (měřicí tlak) 1 mA (absolutní tlak) (zdroj konstantního proudu)

Rozsah pracovních teplot: -55 ℃ ~ 120 ℃

Kompenzační teplotní rozsah: -10 ℃ ~ 80 ℃

Přetížení: 200% jmenovitého dosahu

Citlivost na zrychlení: <0,001% FS/g

Rozměry: CYG502A