Miniaturní tlakový senzor CYG503 s nominálním vnějším průměrem 3 mm byl navržen speciálně pro měření dynamického rozdělení tlaku v aerodynamických výzkumných zkouškách, které vyžadují malé rozměry instalace, nerouší proudění a dynamicky reagují. Používá se pro měření aerodynamických vlastností, jako je deformace tlaku vstupních dýchacích cest motoru, vibrace atd.

Komponenty citlivé na tlak CYG503 jsou navrženy a vyrobeny pomocí pokročilé technologie MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Vysoká konzistence integrovaných trojrozměrných, oboustranně zpracovaných tlakově citlivých prvků křemíkového odporu s vynikající lineární přesností, iontovým vstřikováním a jemnou fotografií, což umožňuje malý teplotní odchylek, mikromechanické zpracování a přesná struktura citlivosti křemíkového filmu vytvářená heterogenní korozí, což umožňuje vysokou citlivost na tlak a radiální měřítka menší než 1,5 mm. Pokročilé miniaturizované čipy citlivé na tlak využívají technologie beznapětí a jsou těsně zabaveny do speciálně vyrobených miniaturních montážních základn a nerezových kapilářů. Referenční tlaková komora senzoru absolutního tlaku je vakuová komora uzavřená na zadní straně čipu a referenční tlaková komora senzoru povrchového tlaku komunikuje s atmosférou ze zadní strany přes tenkší nerezové ocelové kapiláře. Také k usnadnění uživatelů pro dosažení stabilní reference tlaku pomocí jemné nylonové trubky vede do vzduchové stability tlaku.

Absolutní mikrotlakový senzor CYG503A je ve tvaru sondy se standardním vnějším průměrem Ф3,5 mm a délkou 18 mm. Speciálně vyrobený krátký sloupcový senzor CYG503AS zkracuje délku na 12 mm. Volitelné rozsahy jsou 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 a 4000 kpa absolutního tlaku.

Mikrotlakový senzor typu CYG503G je ve tvaru sondy, standardní vnější průměr Ф3,5 mm, délka 18 mm a délka zpětného tlaku je 12 mm. Volitelné měřicí rozsahy jsou 160, 250, 400, 600, 1000, 1600 a 2500 kpa.

Patent na návrh a výrobu CYG503 získal národní patent na vynález, patentové číslo je:.3.

CYG504 mikrošroubový senzor tlaku je odvozen od CYG503, který je požadován pro pohodlí některých uživatelů. Její rozměry jsou uvedeny na obrázku.

CYG503、 Snímač typu 504 je vhodný pouze pro sušené plyny, které nejsou korozivní a elektricky neprovodivé, protože mají citlivé komponenty s předním tlakem. Má však poměrně širokou pracovní teplotní zónu a velmi dobrou dynamickou frekvenci. Použitelné dynamické frekvence od nulové frekvence až do desítek tisíc Hz. Zvýšená ochrana povrchu může zlepšit použitelnost médií, ale na úkor frekvenčních vlastností.

1. parametry ukazatelů výkonu

Výstup plného rozsahu: minimální hodnota 30mv typická hodnota 80mv maximální hodnota 130mv

Vstupní a výstupní impedance: minimální hodnota 3 kΩ typická hodnota 5 kΩ maximální hodnota 7 kΩ

Vstupní pracovní proud: 1,5 mA (měřicí tlak) 1 mA (absolutní tlak) (zdroj konstantního proudu)

Rozsah pracovních teplot: -55 ℃ ~ 120 ℃

Kompenzační teplotní rozsah: -10 ℃ ~ 80 ℃

Přetížení: 200% jmenovitého dosahu

Citlivost na zrychlení: <0,001% FS/g

9. obrázek rozměrů: