Senzor tenkého tlaku typu CYG513 byl navržen speciálně pro rozložení povrchových tlakových polí ve zkušebních modelech větrných tunelů při studiu aerodynamiky. Je vhodný zejména pro použití v modelech, které jsou tenké a nelze instalovat mikrosondové senzory pomocí otvorů. Extrémně tenké senzory lze montovat přímo nebo zakopat do povrchu modelu s plochou úpravou. Jeho extrémně tenké speciální pružné vodiče lze přilepit přímo na povrch modelu. Proto v podstatě neovlivňuje měřené proudění.

Komponenty citlivé na tlak CYG513 jsou navrženy a vyrobeny pomocí pokročilé technologie MEMS. Třírozměrně integrované, dvoustranné zpracování křemíkové tlakové rezistence tlakové citlivé prvky s vynikající lineární přesností, iontovým vstřikováním, vysokou konzistencí technologií jemné fotografie vyrobené z Whiston napětí mostu umožňuje malý teplotní odchylek, mikromechanické zpracování těla, přesnou heterogenní korozi a technologii vázání křemíkové a skleněné anody, což umožňuje křemíkové tenké fólie citlivé na sílu s vysokou citlivostí, vynikající stabilitou, vynikajícími dynamickými vlastnostmi a zároveň menší tloušťkou. Celková tloušťka integrované konstrukce citlivé na sílu a posílení podložky je pouhých 0,9 mm, což umožňuje získání tenkých senzorů s menšími konečnými rozměry.

CYG513 je režim měření tlaku s standardním tlakovým rozsahem 2, 5, 10, 25, 40, 60, 100, 160, 250, 400, 600, 1000 kpa

CYG513 má tenký kulatý tvar. Minimální průměr je 10 mm, tloušťka 4 mm, referenční tlak lze vyvodit na zadním otvoru (513G) nebo na boční části vedení pomocí kapilární vedení (513D), vedení je 5-drátový flexibilní drát s délkou 1 m, na konci 1 m je připojen vyrovnávač vyrobený z desky PCB, tloušťka flexibilního drátu je 0,15 mm a šířka je 4 mm. (K dispozici je také vícejádrový štítný kabel Φ2,5 mm)

CYG513 má vynikající kompatibilitu s médii díky zpětnému tlaku citlivých komponentů a může být použit také pro účely dynamiky proudu vody. Má poměrně široké pracovní teplotní pásmo a velmi vynikající dynamické frekvenční odpověď, která může být použita v pásmu od nízkých až nulových frekvencí až do desítek tisíc Hz.

1. parametry ukazatelů výkonu

Výstup plného rozsahu: minimální hodnota 30mv typická hodnota 80mv maximální hodnota 130mv

Vstupní a výstupní impedance: minimální hodnota 3 kΩ typická hodnota 5 kΩ maximální hodnota 7 kΩ

Vstupní pracovní proud: 1mA (konstantní zdroj proudu)

Rozsah pracovních teplot: -55 ℃ ~ 120 ℃

Kompenzační teplotní rozsah: -10 ℃ ~ 80 ℃

Přetížení: 200% jmenovitého dosahu

Citlivost na zrychlení: <0,001% FS/g

9. obrázek rozměrů: