Přehled

Výrobní továrny pro polovodiče, centra pro nanotechnologie, nanotovárny a další přesné výrobní a výzkumné centra obvykle kombinují čisté místnosti s aktivními falešnými pozemními systémy, aby splnily složité požadavky na zařízení (potrubí, kabely, plynovody atd.) a udržely přísné standardy čistoty. Tato podlaha není vhodná pro výrobní, testovací a měřicí zařízení citlivá na vibrace. Mobilní půda nemůže poskytnout potřebné tiché vibrační prostředí pro tyto nástroje. TMC Quiet Island nabízí inovativní řešení, když nahrazuje část aktivního pozemního prostoru „klidným ostrovem“ upevněným na podzemí. Quiet Island zahrnuje horní část platformy kompatibilní s čistou místností a podporní strukturu specifickou pro aplikaci a místo.

Zničení vibrace

Hlavní podpůrné komponenty a základní technologie Quiet Island** jsou integrovány do systému STACIS III pro aktivní amortizaci. Tento „tuhý“ systém inerciálního potlačování vibrací je ideální pro jakýkoli nástroj citlivý na vibrace a umožňuje takovým nástrojům pracovat v hlučném prostředí s vysokými standardy. STACIS III je kompatibilní s automatickými nástroji pro obrábění oblouček, nástroji pro zobrazování elektronových paprsků s vysokým rozlišením, nástroji pro frézování iontových paprsků a jakýmkoliv nástrojem s pasivním nebo aktivním vnitřním izolačním systémem (viz naši bílou knihu o stohování aktivních izolátorů na aktivní izolátory). Navíc nabízí izolaci vibrací v širokém frekvenčním rozsahu. Navíc je konstrukce "tvrdé instalace" velmi tvrdá, takže u vyšších, lehkých nástrojů se nevyskytují žádné problémy se stabilitou.

Stojky a držáky

Extrémně odolné trubky pro podporu izolátorů STACIS byly navrženy zkušeným inženýrským týmem TMC a vyrobeny naším závodem ISO 9001 podle vysokých standardů a specifikací s certifikací svařování. Každý Quiet Island je pečlivě navržen tak, aby vyhovoval různým výškám, geometriím podzemí a velikostem nástrojů. Společnost TMC instaluje tisíce zařízení, které podporují více než 200 různých modelů přístrojů po celém světě, a má rozsáhlé znalosti a zkušenosti s navrhováním podpůrných konstrukcí, které vyhovují potřebám STACIS a vašich zařízení.

Tuhá platforma

Platforma se skládá ze 4 palců (100 mm) tloušťky ocelového plechu navrženého a vyrobeného společností TMC, který je připojen k lehkému, nestlačitelnému, tlumicímu jádrovému materiálu. Vrstvěný efekt lepení tuhých plechů a jádra epoxidovou pryskyřicí do jednoho bezešvého nerezového plechu zajišťuje extrémně vysokou tuhost a strukturální tlumení. Velký průřez a obsah oceli vytvářejí velmi vysokou celkovou tuhost. Horní a boční části jsou kontinuální pouzdro z nerezové oceli, které udržuje čistotu, krásu a integritu. TMC navrhuje a vyrábí platformy specifické pro konkrétní aplikaci podle potřeby, včetně řezů, speciálních tvarů, pevných otvorů a závěsných šroubů.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Výhody Tichého ostrova

Je kompatibilní s nástroji pro aktivní piezoelektrickou redukci vibrací STACIS - TMC Industry**, konstrukcí „hard mount“ a izolací od 0,6 Hz s vestavěnými izolátory.

Flexibilita v oblasti modulárnosti, přizpůsobení a přeorientování – každá platforma je přizpůsobena aplikaci zákazníka, ale na rozdíl od betonových platforem lze tyto platforem snadno překonfigurovat, pokud se změní nástroje nebo vlastnosti půdy.

Odbornosti - TMC má rozsáhlé zkušenosti ve spolupráci s výrobci polovodičů, výzkumnými institucemi a ultrapřesnými OEM. Rozumíme zákazníkům a jejich potřebám. Navrhujeme a vyrábíme sami.

Výkon

Na 24 palců vysokém, 40 palců x 60 palců Quiet Island, na čtyřech stojanech STACIS,
Měření průnosnosti pod vstupem VC-C ze země

Specifikace

Specifikace výkonu

Požadavky na konstrukci, rozměry, prostředí a užitečnost izolátoru

Specifikace ovladače DC-2020

Další parametry

OstatníNastavení Quiet Island

Velké přístroje, které nemají specifikace pro vibrace prostředí, obvykle vyžadují tuhý a stabilní držák oddělený od pohyblivé půdy. Tuhý Tichý ostrov je ideálním řešením. Tuhý Quiet Island má stejný vrchol vysoce výkonné plošiny a může být navržen na míru pro mobilní čisté místnosti v jakékoli výšce, jakékoli geometrii podzemí a různé velikosti nástrojů. TMC nabízí řadu různých typů pilířů, které splňují různé požadavky, což vytváří modulární, flexibilní řešení pro přesměrování a modernizaci specifické pro přístroje a továrny.

Aplikovat fotografie

Vzhledem k instalaci na našem tichém ostrově ® Složitost, citlivost a hodnota zařízení na podzemní plošině, nevytvořili jsme standardní katalog pro objednávkyNe.

Věříme, že každá platforma by měla být navržena na míru pro konkrétní aplikaci. Doporučené kroky při objednávce jsou následující:

▪ Řekněte nám, které zařízení nebo nástroj chcete izolovat. Vzhledem k tomu, že jsme nainstalovali tisíce zařízení, pravděpodobně již máme platformu navrženou tak, aby vyhovovala požadavkům vaší aplikace. Navíc udržujeme úzké kontakty s výrobci kroků, vyrovnávačů, SEM a dalších nástrojů, takže se dozvíme o nových rozměrech, tvarech, změnách hmotnosti a specifikacích vibrací země.

▪ Nebo možná budete chtít platformu vhodnou pro mobilní zemní mřížkové systémy. Zákazníci si obvykle vybírají platformu o rozměrech 47 x 47 palců (1190 x 1190 mm) jako náhradu za párné dlažby.

▪ Řekněte nám, že vaše půda je vyšší než pevná podlaha.

▪ Popište nám nebo nám poskytněte ilustraci zobrazující jakýkoliv vzor díry ve vaší geometrii podlahy nebo ocelové trámy / mřížky.

▪ Poskytněte nám údaje o vibracích země nebo si s námi poraďte o tom, jak plánovat jejich měření.

▪ Zvažte citlivost vibrací přístroje. Náš pevný, neresonantní design sloupů poskytuje dostatečnou podporu pro mnoho nástrojů. Citlivější aplikace budou vyžadovat vzduchovou nebo piezoelektrickou podporu