Šanghaj Huai chromatografické analýzy Technology Co., Ltd.
Domů>Produkty>Heliový chromatometr pro analýzu tetrachlorsilánu
Heliový chromatometr pro analýzu tetrachlorsilánu
Přístroje jsou vybaveny vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání společnosti HUARE, vzorkové ventily jsou vyba
Detaily produktu
  • Popis produktu

Heliontový chromatometr pro analýzu tetrachlorsilánuPoužitelné pro detekci stopových nečistot v plynech používaných v elektronickém průmyslu, malá detekční koncentrace může dosáhnout 5ppb. Přístroje jsou vybaveny vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání společnosti HUARE, vzorkové ventily jsou vybaveny ochrannými vzduchovými cestami; Celý stroj je navržen s více sloupy a je vybaven automatickým korekčním systémem vstupního tlaku, který zajišťuje vstupní objem vzorků různých podkladových plynů. Výrobky byly oceněny projektem třídy A pro přeměnu vysoce technologických úspěchů v Šanghaji.

Křemík (SiHCl)3Obsah (objemové části) / l0-6 400 25
Chlorsilán (SiH)2Cl2Obsah (objemové části) / l0-6 400 25
Metyldichlorsilán (SiCl)2CH4Obsah (objemové části) / l0-6 200 50
Obsah kovů a dalších prvků Obsah (bor + hliník) (B + Al) / (µg / kg) ≤ —— 0.1
Obsah (fosforu + arsenu) (P + As) / (µg / kg) ≤ —— 0.3
Obsah gallia (Ga)/(µg/kg) ≤ —— 0.5
Obsah antimonu (Sb)/(µg/kg) ≤ —— 0.5
Obsah indium (In) / (µg/kg) ≤ —— 0.5
Obsah vápníku (Ca)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah chromu (Cr)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah železa (Fe)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah draslíku (K)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah sodíku (Na)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah niklu (Ni)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah molybdenu (Mo) / (µg / kg) ≤ 1 0.5
Obsah manganu (Mn) / (µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah mědi (Cu)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah cadmia (Cd)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah kobaltu (Co)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah zinku (Zn)/(µg/kg) ≤ 1 0.5
Obsah vanádu (V)/(µg/kg) ≤ 1 0.5

Online dotaz
  • Kontakty
  • Společnost
  • Telefon
  • E-mail
  • WeChat
  • Ověřovací kód
  • Obsah zprávy

Úspěšná operace!

Úspěšná operace!

Úspěšná operace!