Technologie tříiontových paprsků

Komponenty tříiontového paprsku jsou vertikální k bočnímu povrchu vzorku, takže při bombardování s iontovým paprskem není potřeba, aby vzorek (upevněný na vzorkovém zásobníku) vyvíjel houpací pohyb, aby se snížil projekční / blokovací efekt, což zase zajišťuje účinný přenos tepla a snižuje tepelné deformace vzorku během zpracování.
technologie
Triiontový paprsek se shromažďuje ve středním bodě okraje bloku a vytváří 100 ° bombardovací povrch, který se rozřezuje směrem k vzorku vystavenému nad blokem (horní konec vzorku je asi 20-100 μm nad blokem), dokud bombardování nedosáhne cílové oblasti uvnitř vzorku. Nově navržená iontová pistole vytváří rychlost broušení iontových paprsků až 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, výška řezu 50 μm). Unikátní systém tříiontových paprsků společnosti Leica poskytuje vynikající a kvalitní řezné průřezy s vysokou rychlostí, širokou a hlubokou řeznou plochou, což značně šetří pracovní čas. Díky této jedinečné technologii lze dosáhnout vysoce kvalitních řezných průřezů až do rozměrů > 4 x 1 mm.

Leica EM TIC 3X - inovace v oblasti návrhu a provozu

Vysoký průtok, zvýšení nákladů
››Vysoká kvalita řezných průřezů až do rozměrů > 4 x 1 mm
››Většina vzorkového stolu je navržena tak, aby mohla obsluhovat tři vzorky najednou
Vysoká rychlost iontového broušení, materiál Si 300 μm / h, výška řezu 50 μm, která splňuje požadavky na vysoký průtok v laboratoři
›››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››››
››Použitelná řada vzorkových nosičů, snadné použití a vysoká přesnost
››Snadné a přesné nasazení vzorku na nosič a nastavení polohy vůči přední ploše
› Jednoduché ovládání pomocí dotykové obrazovky bez zvláštních dovedností
Proces zpracování vzorků je sledován v reálném čase a může být sledován pomocí zrcadla nebo HD-TV kamery
›› LED osvětlení pro snadné sledování vzorků a kalibraci polohy
› Vestavěný, oddělený systém vakuového čerpadla, který poskytuje pohled bez vibrací
›› Na připravené rovné řezné části lze provést další posilování podložky, tj. gravírování iontového paprsku.
››Nahrávání nebo stahování parametrů a programů přes USB
››Vhodné pro téměř všechny vzorky materiálu
››Pomocí mrazeného vzorkového stolu lze snížit teplotu stěny a vzorku až do –150 °C

Různá nabídka vzorků

Je vhodný pro téměř všechny velikosti vzorků a je vhodný pro širokou škálu použití. V případě jednoho vzorkového zásobníku je možné provést předmechanickou přípravu (Leica EM TXP) až po řezání iontového paprsku (Leica EM TIC 3X) a SEM zrcadlovou kontrolu, která se následně vloží do schránky pro skladování vzorků pro následnou kontrolu.

Zvýšení podložky

Po řezání iontového paprsku není nutné odstranit vzorek, stejným nosičem vzorku lze také zvýšit obložení vzorku, což může posílit topologickou strukturu před různými fázami ve vzorku (například krystalické hranice)

Vysoká přesnost

Stále menší a detailnější struktury ve vzorku jsou nyní stále více pozorovány. A získání průřezu, jako je získání malé TSVia otvorové struktury, se stalo snadné. Všechny vzorkové stoly jsou navrženy tak, aby dosahovaly přesnosti kalibrace polohy vzorku ±2 μm. Nejenže přesnost kontroly vzorkového stolu umožňuje tak přesnou kalibraci cílové polohy, pozorovací systém také sleduje detaily vzorku o minimální velikosti asi 3 μm pro přesné cílové polohy. Pro lepší pozorování vzorku při polohování pomáhají čtyřrozdělené LED kruhové světelné zdroje nebo LED koaxialní osvětlení, které pomáhají uživatelům získat jasný obraz ze zrcadla nebo HD-TV kamery.
Vzhledem k tomu, že je vakuové čerpadlo vestavěno uvnitř přístroje, není třeba uvolnit samostatný prostor. Díky oddělené konstrukci vakuového čerpadla není pozorovací pole při přípravě vzorku narušeno vibracemi vyvolávanými vakuovými čerpadly.