Silikán je důležitý nový materiálový produkt, široce používaný v LCD plochách displejích, polovodičů, solární energie a dalších průmyslových odvětvích, s rozvojem čínských polovodičů a dalších průmyslových odvětví, domácí poptávka po silikánu roste, ale vzhledem k tomu, že domácí technologie výroby silikánu je v počáteční fázi, jak analyzovat čistotu silikánu je tématem, kterému musí čelit každý výrobce.
Je dobře známo, že analýza vysoce čistých plynů je složitý proces a jedním z obtíží chromatografické analýzy; Vzhledem k specifickým vlastnostem jeho fyzikálních vlastností může být obtížnost analýzy obtížnější, nejen že vyžaduje vysoce citlivý detektor, ale také řeší problém spalování kyslíku.GC-9560-HG helionizovaný plynový chromatometrPřekonání mnoha technických obtíží při analýze silikanu, použití vysoce citlivých detektorů ionizace helia, vybavených speciálním systémem odběru vzorků silikanu, dobře dokončilo analýzu nečistot stupně ppb v silikanu.

Použitelná kritéria:

• GB/T 15909 - Silikány pro elektronický průmysl

GC-9560-HG Silikánová analýza helionizovaného plynného chromatometruJe vhodné pro detekci stopových nečistot ve vysoce čistých plynech a plynech pro elektronický průmysl, malá detekční koncentrace zui může dosáhnout 5 ppb. Přístroje jsou vybaveny vysoce citlivým detektorem ionizace helia, pomocí technologie centrálního řezání od společnosti HUARE* a jsou vybaveny vstupními ventily s ochrannými vzduchovými cestami; Celý stroj je navržen s více sloupy, různé chromatografické sloupy mohou samostatně regulovat teplotu, zui maximalizuje oddělovací podmínky a usnadňuje zvláštní ošetření stárnutí různých chromatografických sloupů, usnadňuje údržbu přístroje; Přístroj je vybaven systémem automatické korekce tlaku vstupu do vzorku, který překonává chyby analýzy způsobené různými podkladovými plyny v důsledku různých molekulárních hmotností.

Jedna,GC-9560-HG Silikánová analýza helionizovaného plynného chromatometruVýhody výkonu:
Plynový průmysl je základním odvětvím národního hospodářství, je "krev" průmyslové výroby a s rychlým rozvojem národního hospodářství rychle roste poptávka po vysoce čistých plynech a plynech pro elektronický průmysl. Detekce stopových nečistot je klíčovým prvkem při výrobě vysoce čistých plynů a plynů pro elektronický průmysl, zatímco analýza stopových nečistot byla obtížností chromatografické analýzy, tradiční detektory jako tepelná vodivost nejsou schopny analyzovat vysoce čisté plyny.
Detektor ionizace helia s pulsovým výbojem (PDHID) je vysoce citlivý univerzální detektor s vysokou odolností na téměř všechny anorganické a organické sloučeniny, který je vhodný zejména pro analýzu vysoce čistých plynů a je schopný detekovat až do úrovně ng / g (ppb). Nově vytvořená národní norma stanoví, že detektory jako je detektor ionizace helia nahrazují původní tepelné vodivosti, a že národní norma "Plynová analýza helia ionizované plynové chromatografie", která je hlavním úkolem návrhu, je také v procesu vývoje a brzy bude oficiálně zveřejněna.

Limit detekce nečistot plynů v silikánu (ppb)

Dva.GC-9560-HGKonfigurace systému:

(1) GC-9560-HG helionizovaný plynový chromatometr (2) detektor helionizace (PDHID)

(3) Centrální řezací systém (4) Elektronický systém odběru vzorků plynu

(5) Systémy adsorpce a redukce kyslíku (6) Čistice helia

(7) speciální ventil pro snížení tlaku pro přepravu plynu (8) speciální ventil pro odběr vzorků bez mrtvého objemu
(9)Plynový filtr (10)Vzorkový filtr

(11) Chromatografické sloupce (12) Standardní plyny
(13) Vysoce čisté helium (čistota > 99,999 %) (14) GC-9560V4.0 verze pro kontrakontrolní chromatografii

• Centrální technologie řezání pro plnou analýzu plynu:
  GC-9560-HG helionizovaný plynový chromatogram využívá centrální řezání a protifoukování s více ventily a více sloupy. Tento systém se skládá z několika ventilů pro vyfukování s deseti cestami a více chromatografií, která automaticky řídí procesy vstupu vzorků, přepínání, řezání a protifoukování prostřednictvím časového programu nastaveného pracovní stanicí.

• Deseťcestový ventil
  GC-9560-HGVybavené jsou originálními importovanými VICI vyrobenými ventily s ochrannými vzduchovými cestami, ventilová plocha je vždy v atmosféře, aby se zabránilo vniknutí vzduchu do vzorku při vstupu a přepínání, což výrazně zlepšuje citlivost a přesnost detekce.
• Speciálně zpracované chromatografické sloupce
  (1) chromatografické sloupy trubky z nerezové oceli 316L a vnitřní stěny trubky jsou pasivovány, aby se zabránilo vzniku problémů s adsorpcí a oxidem uhličitým
  (2) chromatografické sloupce nosiče jsou zvláštní ošetření, aby se zabránilo vzniku problémů jako adsorpce kyslíku
  (3) Předřezový sloupec využívá chromatografii Huaei k získání technologie mikro-výplně sloupů v zemi, což všeobecně zlepšuje oddělení vzorků, přičemž přihlíží k oddělení, stabilitě a rychlosti

• Systém oddělování více sloupů
  Vzorky plynu mají různé formy a různé nečistoty, což vyžaduje spojení několika různých chromatografických sloupců k dokončení separace všech nečistot ve vzorku plynu. Vzhledem k tomu, že optimální pracovní teploty pro různé chromatografické sloupce se liší, je obtížné najít optimální pracovní teplotu pro různé chromatografické sloupce současně ve stejném sloupci. GC-9560-HG je navržen s více sloupy a účinně řeší problémy, které vyžadují různé pracovní teploty pro různé chromatografické sloupy.
  Při každodenní údržbě přístroje se vzhledem k tomu, že se aktivační teploty chromatografických sloupců různých nosičů, jako je molekulární síto 5A, liší, je nutné odstranit chromatografické sloupce, které nesnášejí vysoké teploty, a pak aktivovat jednotlivě. Většinový design sloupců GC-9560-HG účinně řeší výše uvedené problémy a různé chromatografické sloupce mohou být aktivovány jednotlivě v různých sloupcích, aby se zabránilo problémům, které vyžadují demontáž chromatografických sloupců při každodenní údržbě přístroje.
• Čistíč helia HP-2:
  GC-9560-HGPři použití vysoce čistého helia jako nosiče plynu má čistota helia přímý vliv na citlivost detekce nečistot celého přístroje. Zkoušky prokázaly, že čistota přenosného plynu použitého při analýze vysoce čistých plynů je alespoň o jeden stupeň vyšší než základní čistota vzorku plynu.
  Čistič helia typu HP-2 je speciální čistič plynu vyrobený společností VICI, jehož čisticí základna je neprochybná adsorpční slitina, povrch adsorpčních částic má vrstvu oxidové membrány, která musí být aktivována tepelným způsobem, aktivační proces musí být proveden ve vakuum nebo v prostředí inertního plynu, což umožňuje heliu volně šířit mezi nimi, zabránit tvorbě vrstvy čištění kyslíku a může být adsorbováno nečistých plynů. Adsorbentní materiály HP mají dobrou tepelnou stabilitu a zahrnují dva rozsahy regulace teploty.
  Čistitelné plyny: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Provozní tlak: 1000psi
  Odstranění plynu: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Počkej.
  Pozůstatková koncentrace: ≤10ppb
• Systém korekce tlaku
  Tradiční chromatometry používají přístup k kontrole průtoku na výstupu vzorkového ventilu k kontrole objemu vzorku v kvantitativní trubice, zkoušky ukázaly, že tato metoda má velké analytické chyby.
  Například při analýze vysoce čistého vodíku: standardní plyn je šest nečistot konfigurovaných v heliu, zatímco vzorkový plyn je šest nečistot v vodíku; Vzhledem k odlišné molekulární hmotnosti helia a vodíku, způsobuje to, že množství vzorků při stejném průtoku není *.
  GC-9560-HGVybaveno systémem korekce tlaku, aby se překonal problém s množstvím vzorků způsobeným rozdílem v podzemním plynu a zajistila přesnost dat.
• Bezmrtvý objemový vzorkovací ventil
  GC-9560-HG je vybaven speciálním vzorkovacím ventilem bez mrtvého objemu, který používá vzorkovací metodu s ochranou proti vyfukování, která účinně zabraňuje problémům s zbytky vzduchu a snižuje vliv procesu vzorkování na analýzu na nízkou úroveň.
• Snížení tlaku pro přepravu plynu
  Běžný tlakový ventil kvůli přítomnosti velkého množství mrtvých objemů přímo ovlivňuje čistotu plynu po výstupu tlakového ventilu, což způsobuje vysokou koncentraci nečistot v podkladu plynu, což ovlivňuje limity detekce celého systému.
  GC-9560-HG helionizovaný plynový chromatometr je vybaven ventily z plné nerezové oceli s funkcí regulace tlaku dvou stupňů, které výrazně zlepšují stabilitu tlaku, zajišťují stabilitu základní linie a zároveň snižují mrtvý objem v těle ventilu a dále zvyšují citlivost detekce.

GC-9560-HGDiagram analýzy: